真空泵是利用机械、物理、化学、物理化学等在某一封闭空间中对容器进行抽气,以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统,广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。
真空泵按结构类型可分为机械式,喷射式和吸着式,凡是利用机械运动来获得真空的泵称为机械真空泵。按其工作原理及机构特点分为变容真空泵和动量传输泵,变容式真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。这种泵分为旋转式和往复式两种,旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出,主要有有以下四 类:(1)液环真空泵;(2)油封式真空泵;(3)干式真空泵;(4)罗茨真空泵。液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环真空泵或油环真空泵。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000 pa。用油作工作液,可达130 pa。文章中油式旋片真空泵属于液环真空泵的一种,工作液为真空泵油。